散射型超聲噴頭，是一種具有旋風(fēng)圓錐狀噴霧的超聲噴頭。其采用超聲波霧化噴頭技術(shù)，通過(guò)特殊的渦旋流道設(shè)計(jì)將載氣變換成均勻的旋轉(zhuǎn)氣流，使超聲霧化后的液霧呈旋風(fēng)形式散射噴出，擴(kuò)大了超聲噴頭的噴涂面積的同時(shí)還可以對(duì)垂直或曲面等帶有角度基材進(jìn)行噴涂。
散射型超聲噴頭典型的應(yīng)用是半導(dǎo)體晶圓的光刻膠噴涂，將光刻膠噴涂在半導(dǎo)體晶圓上。由于散射型超聲噴頭噴出的霧是旋轉(zhuǎn)散射的，故此不僅可以均勻的在晶圓的平面上形成光刻膠薄膜，而且還可以在晶圓微型結(jié)構(gòu)的側(cè)壁及夾角處形成均勻包裹的光刻膠薄膜。除此之外，散射型超聲噴頭還可應(yīng)用于如薄膜太陽(yáng)能電池噴涂、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池噴涂、AR增透減反射膜噴涂、隔熱薄膜噴涂、超疏水涂層噴涂、PCB助焊劑噴涂等等。
散射型超聲噴頭的特點(diǎn)
噴涂寬度：40-150mm
涂層均勻：均勻度>95%
節(jié)省原料：原料利用率高達(dá)85%以上，4倍于傳統(tǒng)二流體噴涂
涂層厚度控制精度高：可制備20納米到數(shù)十微米的涂層，精確控制涂層厚度
微細(xì)霧化顆粒
霧化顆粒均勻
可實(shí)現(xiàn)間斷性或連續(xù)性的噴涂
超低噴霧流量
不易堵塞噴頭
防腐蝕型噴頭
可實(shí)現(xiàn)高精度、高可控性的噴涂
新能源：燃料電池、電解制氫、薄膜太陽(yáng)能電池等
生物醫(yī)療：生物傳感器、微流控芯片上的功能涂層
電子及半導(dǎo)體：光刻膠、導(dǎo)電墨水、透明導(dǎo)電氧化物等
玻璃鍍膜：AR減反射、親疏水涂層、超硬保護(hù)涂層等
其它制造：織物及無(wú)紡布、食品加工、制藥等
