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ITO鍍膜玻璃是屬于TCO玻璃的一種導(dǎo)電玻璃，通過(guò)在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上涂覆一層氧化銦錫（ITO）薄膜而來(lái)。ITO鍍膜玻璃是一種非常成熟的產(chǎn)品，具有透過(guò)率高、膜層牢固以及導(dǎo)電性好等特點(diǎn)，被主要應(yīng)用于LCD領(lǐng)域，最早是應(yīng)用在計(jì)算器和電子表等設(shè)備的電子顯示屏上，隨著電子技術(shù)的發(fā)展，ITO玻璃也逐漸在筆記本電腦和新一代液晶顯示器中得到應(yīng)用。 

氧化銦錫是一種由銦、錫和氧組成的化合物，它同時(shí)具有光學(xué)透明性和導(dǎo)電性，使之成為眾多尖端技術(shù)的基石。在不斷發(fā)展的先進(jìn)材料和技術(shù)中，氧化銦錫已經(jīng)成為一種非常重要的化合物。在電子、光學(xué)和可持續(xù)能源解決方案等領(lǐng)域，ITO對(duì)不同應(yīng)用產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。制作ITO鍍膜玻璃需要在玻璃基板上均勻地涂覆上一層氧化銦錫薄膜，同時(shí)玻璃基板會(huì)保持高度透明并且獲得低電阻。通常，在玻璃基板上涂覆

圖1.超聲波噴涂設(shè)備在玻璃圖涂上鍍膜

ITO涂層時(shí)必須要在完全真空密閉的環(huán)境中進(jìn)行，在規(guī)定的溫度下對(duì)玻璃基板進(jìn)行加熱，同時(shí)涂覆ITO涂層。超聲波熱解法是通過(guò)超聲波將配制成溶液的ITO材料霧化為細(xì)小的液體顆粒從而均勻地沉積的玻璃基板上的技術(shù)。超聲波霧化保證了液體顆粒的粒徑均勻且尺寸可控，配合高精度供液泵，可以實(shí)現(xiàn)幾十納米到幾十微米厚度高度可控的薄膜涂覆。相比較真空沉積和濺射法而言，超聲波熱解法是一種更加經(jīng)濟(jì)高效的方法。

目前超聲波熱解法制備ITO玻璃涂層已經(jīng)有了非常成熟的設(shè)備。北京東方金榮用于超聲波熱解的超聲波噴涂設(shè)備集成了高精度供液系統(tǒng)、超聲波霧化模塊、高溫加熱臺(tái)以及伺服運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，被廣泛應(yīng)用于各種納米及亞微米級(jí)功能性涂層薄膜的研發(fā)及生產(chǎn)。