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散射型超聲噴頭，是一種具有旋風圓錐狀噴霧的超聲噴頭。其采用超聲波霧化噴頭技術(shù)，通過特殊的渦旋流道設(shè)計將載氣變換成均勻的旋轉(zhuǎn)氣流，使超聲霧化后的液霧呈旋風形式散射噴出，擴大了超聲噴頭的噴涂面積的同時還可以對垂直或曲面等帶有角度基材進行噴涂。

散射型超聲噴頭典型的應(yīng)用是半導體晶圓的光刻膠噴涂，將光刻膠噴涂在半導體晶圓上。由于散射型超聲噴頭噴出的霧是旋轉(zhuǎn)散射的，故此不僅可以均勻的在晶圓的平面上形成光刻膠薄膜，而且還可以在晶圓微型結(jié)構(gòu)的側(cè)壁及夾角處形成均勻包裹的光刻膠薄膜。除此之外，散射型超聲噴頭還可應(yīng)用于如薄膜太陽能電池噴涂、鈣鈦礦太陽能電池噴涂、AR增透減反射膜噴涂、隔熱薄膜噴涂、超疏水涂層噴涂、PCB助焊劑噴涂等等。

    散射型超聲噴頭的特點

• 噴涂寬度：40-150mm

• 涂層均勻：均勻度>95%

• 節(jié)省原料：原料利用率高達85%以上，4倍于傳統(tǒng)二流體噴涂
  

• 涂層厚度控制精度高：可制備20納米到數(shù)十微米的涂層，精確控制涂層厚度
  

• 微細霧化顆粒

• 霧化顆粒均勻

• 可實現(xiàn)間斷性或連續(xù)性的噴涂

• 超低噴霧流量

• 不易堵塞噴頭

• 防腐蝕型噴頭

• 可實現(xiàn)高精度、高可控性的噴涂

• 新能源：燃料電池、電解制氫、薄膜太陽能電池等      
  

• 生物醫(yī)療：生物傳感器、微流控芯片上的功能涂層

• 電子及半導體：光刻膠、導電墨水、透明導電氧化物等

• 玻璃鍍膜：AR減反射、親疏水涂層、超硬保護涂層等   

• 其它制造：織物及無紡布、食品加工、制藥等