超聲噴霧熱解法沉積TCO透明導(dǎo)電氧化物納米薄膜

透明導(dǎo)電氧化物（TCO）薄膜涂層，例如氧化銦錫（ITO）、摻鋁氧化鋅（AZO）、氧化鋅（ZnO）和摻氟氧化物（FDO），通常使用超聲波噴霧熱解技術(shù)進(jìn)行沉積制備。這種獨(dú)特的工藝要求沉積系統(tǒng)可在高溫環(huán)境下噴涂腐蝕性溶液從而產(chǎn)生特定的涂層厚度和形貌。

在超聲波噴霧熱解過(guò)程中，鋁鋅氧化物等前驅(qū)體溶液被超聲波噴頭均勻霧化成微米級(jí)液滴，并在沉積在被加熱到300-500℃的高溫基材上。當(dāng)溶質(zhì)接觸高溫基材后便會(huì)迅速發(fā)生熱裂解反應(yīng)并在基材（例如鈉石灰或其他玻璃）表面生長(zhǎng)出ZnO晶體薄膜?；囊r底的溫度通常對(duì)于薄膜的形貌起著至關(guān)重要的作用。

Siansonic特殊設(shè)計(jì)的防腐型超聲波噴頭由耐腐蝕材料制成，能夠霧化各種通常具有強(qiáng)酸性腐蝕性的前驅(qū)體溶液，包括強(qiáng)腐蝕性的鹽酸或氫氟酸溶液。我們的桌面式超聲波噴涂系統(tǒng)UC320、UC330配備了最高500°C的高溫加熱臺(tái)，為研發(fā)實(shí)驗(yàn)級(jí)應(yīng)用提供了完整的超聲波噴霧熱解解決方案。

此外，超聲波噴涂技術(shù)也被視為一種有效的納米薄膜涂層制備工藝，可用于玻璃、金屬、陶瓷、塑料、聚合物等各種軟硬基材上的多種功能性納米薄膜的制備，諸如AR減反增透薄膜、親水及疏水涂層、納米銀線、碳納米管、石墨烯等透明導(dǎo)電薄膜、TCO、量子點(diǎn)、鈣鈦礦等等。相比于傳統(tǒng)的空氣噴涂，超聲噴涂具有高精度的膜厚控制、高均勻度、飛濺少、4倍以上的原料利用率等顯著優(yōu)勢(shì)。而相比于真空蒸鍍、CVD等鍍膜工藝，超聲噴涂具有很高的性價(jià)比，特別是針對(duì)大面積的鍍膜，成本上更是大幅下降，因?yàn)槌晣娡勘灰暈橐环N全新的產(chǎn)業(yè)化納米薄膜涂層制備工藝。

圖1：二流體噴頭與超聲波噴頭霧化納米分散液對(duì)比

東方金榮憑借在應(yīng)用超聲波技術(shù)領(lǐng)域近40年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)及10余年超聲噴涂應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，可為包括如玻璃、陶瓷、金屬、薄膜、半導(dǎo)體硅片等各種形式及規(guī)格的材料表面鍍膜提供相應(yīng)的超聲噴涂解決方案。其中桌面式超聲波精密噴涂機(jī)UC320、UC330、UC340、立式超聲波精密噴涂機(jī)UC360c、傳送式自動(dòng)超聲波精密噴涂機(jī)PL360、PL600等系列超聲波噴涂設(shè)備配合我司自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的各種超聲波噴頭可適用于中小規(guī)格的基材鍍膜的研發(fā)、中式及量產(chǎn)等各個(gè)級(jí)別生產(chǎn)。對(duì)于大尺寸基材，東方金榮寬噴型超聲波噴頭陣列組合可幾乎適應(yīng)任意寬度的噴涂范圍，如一條30組寬噴型超聲波噴頭的噴頭陣列可實(shí)現(xiàn)最大3-4米的寬幅噴涂。