東方金榮兆聲清洗振板可方便地裝配到清洗槽上進(jìn)行槽式兆聲清洗。槽式兆聲清洗與傳統(tǒng)超聲波清洗相似，一般將兆聲發(fā)射裝置置于水槽底部，清洗時(shí)晶圓放置在水槽中。該種方式的優(yōu)點(diǎn)是使用方便，可對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行批量清洗，故此又被稱為“批量式”兆聲清洗。目前對(duì)晶圓的批量清洗、化學(xué)機(jī)械拋光、刻蝕、顯影等濕法處理多采用槽式兆聲清洗裝置。東方金榮通過特殊的耦合技術(shù)將壓電換能器與石英或藍(lán)寶石振蕩層精確的匹配結(jié)合，可高效地向清洗槽中發(fā)射均勻的兆聲聲場。
兆聲清洗是利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲清洗系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。
Siansonic（東方金榮）槽式兆聲清洗振板的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)
可直接安裝到兆聲清洗槽底部的兆聲振板，方便二次開發(fā)
兆聲發(fā)射聲場分布均勻，提高清洗均勻度
極低的超聲空化效應(yīng)，不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷
大功率兆聲波換能器，振板表面聲強(qiáng)可達(dá)5W/cm2以上
石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)
可全面非金屬高防腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑
獨(dú)特的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，全面實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)
CMP化學(xué)機(jī)械拋光
鍵合前清洗
掩膜清洗
顯影
去膠
Lift-off金屬剝離
濕法刻蝕
鏡頭清洗
顯示屏等微電子行業(yè)精密清洗
