噴淋式兆聲波清洗噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對被清洗物如晶圓等進(jìn)行清洗。它的優(yōu)勢在于可點(diǎn)對點(diǎn)的直接對被清洗物表面進(jìn)行處理，可讓聲能焦點(diǎn)直接處于被清洗物表面，然后再通過運(yùn)動來實(shí)現(xiàn)整個二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲波清洗，其兆聲轉(zhuǎn)換效率更高，并且避免了槽式兆聲波清洗中聲場強(qiáng)度隨水槽液體深度變化而變化的問題，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會發(fā)生像槽式兆聲波清洗中水槽中的殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。
兆聲波清洗是利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲波清洗系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。
Siansonic（東方金榮）噴淋式兆聲波清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢
單點(diǎn)噴淋式兆聲波清洗，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問題。
極低的超聲空化效應(yīng)，不會對器件表面造成損傷
超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒
全面非金屬高防腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑
石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險
獨(dú)特的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，全面實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動
CMP化學(xué)機(jī)械拋光
鍵合前清洗
掩膜清洗
顯影
去膠
Lift-off金屬剝離
濕法刻蝕
鏡頭清洗
顯示屏等微電子行業(yè)精密清洗
