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超聲波噴涂以其自身獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)躋身于當(dāng)前主流涂層涂覆技術(shù)之林，在眾多涂覆應(yīng)用領(lǐng)域中大放光彩。為能夠更好的適應(yīng)不同應(yīng)用工藝，超聲波噴嘴也被分為不同類(lèi)型，除了不同的噴涂幅寬，還有一些針對(duì)特殊噴涂工藝的噴頭型號(hào)，比如D系列散射型超聲波噴嘴，主要是為了適應(yīng)表面帶有結(jié)構(gòu)的基材噴涂而開(kāi)發(fā)出來(lái)的一款超聲波噴嘴。

散射型超聲波噴嘴，是一款“旋噴”式噴頭，相對(duì)于其他類(lèi)型噴頭而言，噴頭載氣經(jīng)過(guò)特殊的渦旋流道形成均勻的旋轉(zhuǎn)氣流，使超聲波霧化后的液霧被旋轉(zhuǎn)氣流夾帶而出時(shí)會(huì)呈旋風(fēng)形式散射噴出，從而使它的噴霧形狀呈螺旋狀。在擴(kuò)大了噴涂面積的同時(shí)還可以對(duì)立面、斜坡面等非水平表面進(jìn)行涂覆。

圖1.東方金榮散射型超聲波噴頭

散射型超聲波噴嘴的典型應(yīng)用是將光刻膠噴涂在半導(dǎo)體晶圓上，尤其適用于帶有結(jié)構(gòu)的晶圓噴涂。這種噴涂需求利用旋涂工藝或者常規(guī)超聲波噴涂工藝都只能對(duì)完全的平面進(jìn)行涂覆，在對(duì)晶圓微型結(jié)構(gòu)的側(cè)壁及夾角處涂覆的光刻膠包裹性往往差強(qiáng)人意，而D系列噴頭由于特殊霧形卻可以使光刻膠更好的在非水平表面附著并形成包裹性涂覆。而且針對(duì)濕膜工藝的涂覆場(chǎng)景，旋轉(zhuǎn)氣流也避免了重復(fù)噴涂時(shí)對(duì)已附著在表面的濕膜的流平過(guò)程造成干擾，使我們得到均勻的光滑涂層。

北京東方金榮散射型超聲波噴嘴（D系列）適用于半導(dǎo)體光刻膠、薄膜太陽(yáng)能電池、AR增透減反射膜、隔熱薄膜、超疏水涂層及PCB助焊劑等多種噴涂應(yīng)用。