噴淋式兆聲波清洗噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對(duì)被清洗物如晶圓等進(jìn)行清洗。它的優(yōu)勢(shì)在于可點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的直接對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理，可讓聲能焦點(diǎn)直接處于被清洗物表面，然后再通過(guò)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)整個(gè)二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲波清洗，其兆聲轉(zhuǎn)換效率更高，并且避免了槽式兆聲波清洗中聲場(chǎng)強(qiáng)度隨水槽液體深度變化而變化的問(wèn)題，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會(huì)發(fā)生像槽式兆聲波清洗中水槽中的殘留的臟污對(duì)被清洗物造成二次污染的問(wèn)題。
兆聲波清洗是利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。東方金榮提供多種類(lèi)型的兆聲波清洗系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。
Siansonic（東方金榮）噴淋式兆聲波清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)
單點(diǎn)噴淋式兆聲波清洗，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問(wèn)題。
極低的超聲空化效應(yīng)，不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷
超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒
全面非金屬高防腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑
石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無(wú)雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)
獨(dú)特的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，全面實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)
CMP化學(xué)機(jī)械拋光
鍵合前清洗
掩膜清洗
顯影
去膠
Lift-off金屬剝離
濕法刻蝕
鏡頭清洗
顯示屏等微電子行業(yè)精密清洗
