兆聲清洗利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量推動(dòng)基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，兆聲波空化效應(yīng)可清除更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。
槽式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于其兆聲換能器面積較大，可以大面積輻射兆聲聲場(chǎng)，從而更高效的進(jìn)行清洗。但缺點(diǎn)是兆聲聲場(chǎng)在水槽中分布不均勻，距離換能器越遠(yuǎn)聲強(qiáng)越弱，同時(shí)聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于可直接將兆聲能量聚焦在清洗物表面，從而可通過運(yùn)動(dòng)清洗物和噴頭實(shí)現(xiàn)清洗物表面均勻的聲場(chǎng)分布，且聲能傳遞效率較高。但噴淋式兆聲清洗頭需要較大的清洗液流量，對(duì)清洗液浪費(fèi)較大，并且噴淋式兆聲清洗換能器面積較小，從而聲能輻射面積較小，清洗速度較慢。
貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式兆聲清洗和噴淋式兆聲清洗兩種兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)并摒棄了二者缺點(diǎn)的更優(yōu)化的兆聲清洗技術(shù)。它可以以相對(duì)大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面，具有非常高的傳遞效率和聲場(chǎng)均勻性，同時(shí)非常節(jié)省清洗液。
Siansonic（東方金榮）貼合式兆聲清洗頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)
直接貼附與被清洗物體表面，能量轉(zhuǎn)化效率更高
極大地減少清洗液使用量
極低的超聲空化效應(yīng)，不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷
無清洗液二次污染問題
超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒
全面非金屬高防腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及有機(jī)溶劑
石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)
獨(dú)特的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，全面實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)
適合晶圓尺寸：4寸、8寸、12寸
兆聲清洗頭材質(zhì)：石英、藍(lán)寶石
不同尺寸可切換：如8寸/12寸可切換
CMP化學(xué)機(jī)械拋光
鍵合前清洗
掩膜清洗
顯影
去膠
Lift-off金屬剝離
濕法刻蝕
鏡頭清洗
顯示屏等微電子行業(yè)精密清洗
