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超聲波噴涂以其自身獨特的優(yōu)勢躋身于當前主流涂層涂覆技術(shù)之林，在眾多涂覆應用領域中大放光彩。為能夠更好的適應不同應用工藝，超聲波噴嘴也被分為不同類型，除了不同的噴涂幅寬，還有一些針對特殊噴涂工藝的噴頭型號，比如D系列散射型超聲波噴嘴，主要是為了適應表面帶有結(jié)構(gòu)的基材噴涂而開發(fā)出來的一款超聲波噴嘴。
散射型超聲波噴嘴，是一款“旋噴”式噴頭，相對于其他類型噴頭而言，噴頭載氣經(jīng)過特殊的渦旋流道形成均勻的旋轉(zhuǎn)氣流，使超聲波霧化后的液霧被旋轉(zhuǎn)氣流夾帶而出時會呈旋風形式散射噴出，從而使它的噴霧形狀呈螺旋狀。在擴大了噴涂面積的同時還可以對立面、斜坡面等非水平表面進行涂覆。
圖1.東方金榮散射型超聲波噴頭
散射型超聲波噴嘴的典型應用是將光刻膠噴涂在半導體晶圓上，尤其適用于帶有結(jié)構(gòu)的晶圓噴涂。這種噴涂需求利用旋涂工藝或者常規(guī)超聲波噴涂工藝都只能對完全的平面進行涂覆，在對晶圓微型結(jié)構(gòu)的側(cè)壁及夾角處涂覆的光刻膠包裹性往往差強人意，而D系列噴頭由于特殊霧形卻可以使光刻膠更好的在非水平表面附著并形成包裹性涂覆。而且針對濕膜工藝的涂覆場景，旋轉(zhuǎn)氣流也避免了重復噴涂時對已附著在表面的濕膜的流平過程造成干擾，使我們得到均勻的光滑涂層。
北京東方金榮散射型超聲波噴嘴（D系列）適用于半導體光刻膠、薄膜太陽能電池、AR增透減反射膜、隔熱薄膜、超疏水涂層及PCB助焊劑等多種噴涂應用。
