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兆聲波，顧名思義，是一種超頻率的超聲波，所以兆聲波清洗是一種超高頻的超聲波清洗。和超聲波清洗一樣，兆聲波清洗機(jī)是通過換能器，將功率超聲的聲能轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動(dòng)，將超聲波輻射到清洗液中，使液體中的微氣泡在兆聲波的作用下保持振動(dòng)，從而破壞污染物與基材（清洗件）表面的吸附，引起污染物層的疲勞破壞并被剝離，從而達(dá)到清洗的目的。該應(yīng)用主要利用的是超聲波的空化效應(yīng)。兆聲波清洗的頻率更高，為兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波。相對(duì)于低頻超聲波的空化效應(yīng)，兆聲波空化效應(yīng)可以清除更小的顆粒并且能夠大幅度降低對(duì)于基材的損傷。

圖1.半導(dǎo)體晶圓

傳統(tǒng)的兆聲波清洗設(shè)備主要為噴淋式兆聲波清洗設(shè)備和槽式兆聲波清洗機(jī)。其中噴淋式兆聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)在于可以直接將兆聲波能量聚焦于基材表面，聲能的傳遞效率比較高。但由于噴淋式聲能輻射面積較小，所以清洗速度比較慢，而且噴淋式會(huì)需要較大的清洗液流量，造成較大的清洗液浪費(fèi)。槽式兆聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)在于兆聲波換能器的面積較大，所以可以大面積輻射聲場(chǎng)，清洗效率較高，但缺點(diǎn)是兆聲波聲場(chǎng)在水槽中的分布不均勻，距離換能器越遠(yuǎn)聲強(qiáng)就會(huì)越弱，且聲能的傳遞效率較低。

貼合式兆聲波清洗設(shè)備在噴淋式兆聲波清洗設(shè)備和槽式兆聲波清洗的基礎(chǔ)上，提出了更優(yōu)化的解決方案：它以相對(duì)大的面積直接將兆聲波聲能均勻的傳遞到基材表面，具有非常高的傳遞效率和聲場(chǎng)均勻性，提高清洗效率的同時(shí)也大大減少了清洗液的浪費(fèi)，更適用于半導(dǎo)體晶圓等平面基材的清洗。

圖2.東方金榮超聲的貼合式兆聲波清洗機(jī)

北京東方金榮超聲的貼合式兆聲波清洗設(shè)備采用第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲波發(fā)生器，全面實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)。貼合式兆聲波清洗機(jī)整體使用非金屬高防腐材質(zhì)，適用于各種酸堿及有機(jī)溶劑的清洗工序，使其更加適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓清洗。